中钢集团开发超高真空舱体用铝合金 布局高阶半导体设备产业链

【很角色时报林伟呈/综合报导】中钢自去年与集团旗下中钢铝业(以下简称:中铝)开发一系列烘烤硬化型6000系铝合金,采钢、铝分进合击的加乘效益策略顺利打入北美汽车供应链后,中钢近期再携手中铝开发出「超高真空舱体用6061系铝合金」,不仅符合半导体制程真空舱体所需之表面优、强度高与平坦度佳等三大品质指标,也力助中钢集团铝合金材料切入高阶半导体设备产业链,目前在国内外都有成功应用实绩,中铝持续向下游业者积极推广使用。

中钢为一贯化作业钢厂,为国内各项基础建设、产业发展及各项民生产品供应及开发所需的钢铁材料,历经多角化及国际化发展后,已成为拥有钢铁、工程、工业材料、物流投资、绿能事业等5个事业板块的集团事业体,也从原本的钢铁材料制造者转变成为多元材料的供应者。台湾半导体产业在全球居于领先地位,半导体制程作业多需要在真空舱体(Vacuum Chamber)内完成,另真空舱体本身需具备质量轻、导热性佳与易加工等特性的材料来加工制作,使得铝合金成为材料首选。惟国内真空舱体用的铝板长期仰赖美国及日本的铝厂供应,新冠疫情后受到全球供应链重组影响,中钢携手中铝积极投入技术及产品研发,近期成功开发出「超高真空舱体用6061系铝合金」产品。

一般民生用6061系铝合金虽具备中高强度及良好銲接性等优势,但无法满足半导体先进制程对超高真空舱体之严苛品质要求,故国外大型铝厂采用低液位浇铸与水平淬火等新式设备来改善铝板组织均匀性与提升其强度,中钢与中铝组成的研究团队考量相关设备造价昂贵且无法短期内建构完成,决定以现有设备为基础,发挥巧思共同研发出「析出物尺寸调控」、「分段淬火」及「高速淬火」等关键技术,让中铝产出的6061系铝合金不但品质媲美由最新式水平式淬火炉制程生产出的铝合金,也可避免铝板加快冷却速率产生残留应力而导致之平坦度不佳问题,同时免除购置新式水平淬火设备与土木兴建等建置成本。

中钢携手中铝开发的「超高真空舱体用6061系铝合金」,除了生产技术已取得多项专利外,产品也获得多家国内半导体设备商认证,目前中铝积极向下游业者推广使用。展望未来,中钢将持续秉持「产业升级,材料先行」的理念,积极与国内下游产业合作,配合国家产业发展进行各项关键材料之开发及供应,也将与中铝持续投入更高强度铝合金的研发应用,发挥高品级铝合金更大的价值,实现「中钢与客户价值共创」愿景。

中铝 6061系铝合金材料应用于高阶半导体超高真空舱体组件。(中钢铝业公司提供)

 

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